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半导体设备零部件主要分类和主要特点

作者:风格酷模板网时间:2023-05-31222 次浏览

信息摘要:

半导体产业是构建我国战略科技力量自立自强的核心支撑产业,而半导体零部件则是决定我国半导体产业高质量发展的关键领域。尽管当前我国半导体产业处于加速发展阶段,但国内半导体零部件产业半导体产业是构建我国战略科技力量自立自强的核心支撑产业,而半导体零部件则是决定我国半导体产业高质量发展的关键领域。尽管当前我

半导体产业是构建我国战略科技力量自立自强的核心支撑产业,而半导体零部件则是决定我国半导体产业高质量发展的关键领域。尽管当前我国半导体产业处于加速发展阶段,但国内半导体零部件产业

半导体产业是构建我国战略科技力量自立自强的核心支撑产业,而半导体零部件则是决定我国半导体产业高质量发展的关键领域。尽管当前我国半导体产业处于加速发展阶段,但国内半导体零部件产业仍面临着国产化率低下,产业长期支持和投入力度不足,企业自主创新能力薄弱,产业上下游联动合作不畅,人才培养和激励机制缺失等诸多问题。

半导体零部件是指在材料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等性能方面达到了半导体设备及技术要求的零部件,如O-Ring密封圈、EFEM (传送模块)、RF Gen射频电源、ESC静电吸盘、Si硅环等结构件、Pump真空泵、MFC气体流量计、精密轴承、ShowerHead气体喷淋头等。半导体设备由成千上万的零部件组成,零部件的性能、质量和精度直接决定着设备的可靠性和稳定性,也是我国在半导体制造能力上向高端化跃升的关键基础要素。国内半导体零部件产业起步较晚,我国半导体零部件产业总体水平偏低,高端产品供给能力不足,产品可靠性、稳定性和一致性较差的问题日益凸显。

在全球宏观政治经济日益复杂,美国不断打压遏制我国高技术产业战略崛起的背景下,产业被“卡脖子”的现象较为突出,这不仅严重制约我国半导体产业向高级化高端化发展,同时对我国数字经济、民生经济和国防安全也带来不可低估的风险。

>>>> 半导体零部件主要分类和主要特点

(1)半导体零部件主要分类

半导体零部件是半导体设备的关键构成,据不完全统计,目前行业里关于半导体零部件的种类划分尚未形成标准,目前主要有以下几种分类方法。

按照典型集成电路设备腔体内部流程来分,零部件可以分为五大类:电源和射频控制类、气体输送类、真空控制类、温度控制类、传送装置类。其中电源和射频控制类包括射频发生器和匹配器、直流/交流电源等。气体输送类主要包括流量控制器、气动部件、气体过滤器等。真空控制类包括干泵/冷泵/分子泵等各种真空泵、控制阀/钟摆阀等各类阀件、压力计以及O-Ring密封圈。温度控制类则包括加热盘/静电吸盘、热交换器及升降组件。传送装置类包括机械手臂、EFEM、轴承、精密轨道、步进马达等。

按照半导体零部件的主要材料和使用功能来分,可以将其分为十二大类,包括硅/碳化硅件、石英件、陶瓷件、金属件、石墨件、塑料件、真空件、密封件、过滤部件、运动部件、电控部件以及其他部件。其中各大类零部件还包括若干细分产品,例如在真空件里就包括真空规(测量工艺真空)、真空压力计、气体流量计(MFC)、真空阀件、真空泵等多种关键零部件。

按照半导体零部件服务对象来分,半导体核心零部件可以分为两种,即精密机加件和通用外购件。精密机加件通常由各个半导体设备公司的工程师自行设计,然后委外加工,只会用于自己公司的设备上,如工艺腔室、传输腔室等,国产化相对容易,一般对其表面处理、精密机加工等工艺技术的要求较高;通用外购件则是一些经过长时间验证,得到众多设备厂和制造厂广泛认可的通用零部件,更加具有标准化,会被不同的设备公司使用,也会被作为产线上的备件耗材来使用,例如硅结构件、O-Ring密封圈、阀门、规(Gauge)、泵、Face plate、气体喷淋头Shower head等,由于这类部件具备较强的通用性和一致性,并且需要得到设备、制造产线上的认证,因此国产化难度较高。


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